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      美国MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一,其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技术领先地位。MKS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术,改善了设备完好率和产品成品率,提高了产量和产品性能。MKS产品起源于我们的压力和流量测量与控制核心技术,延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。
 
       MKS成立于1961年,总部位于美国东部波士顿以北的Andover。近三千名员工工作在全球各地十五个分公司、七个研究中心、十个生产基地(其中中国深圳的ENI电源工厂拥有近500员工)及140多个销售办事处和30多个技术服务中心。MKS拥有完整的技术及产品资源,无论是产品的研发设计、生产管理还是客户支持服务,都能快速满足客户的各种特殊需求。MKS主要提供有:气体压力及流量测量与控制、射频/直流/微波电源发生器及测量工具、氟原子/臭氧反应气体发生器、真空产品、气体分析仪及信息和控制技术等产品。
 

       美国MKS产品:校准系统、控制系统、数据